HENGKO הויך ריינקייַט פּאָראָוס מעטאַל קאַמער דיפפוסערז שטיין פֿאַר הויך ריינקייַט גאַז פילטריישאַן צו סעמיקאַנדאַקטער
HENGKO פּאָראָוס מעטאַל דיפיוזערז געשווינד ויסגיסן וואַקוום טשיימבערז צו די אַטמאָספער וואָס דיקריסאַז ציקל צייט און ינקריסיז טרופּוט.אונדזער ומבאַפלעקט שטאָל דיפפוסערז צושטעלן מונדיר און לאַמאַנער גאַז פלאָוז אָן דיסטורבינג פּאַרטיקאַלז אין די קאַמער.די פּאָרעז מעטאַל דיפפוסערז אויך באַזייַטיקן פּאַרטיקאַלז גרעסער ווי 0.1 μם פון ינקאַמינג גאַז, מינאַמייזינג חסרונות אויף די ווייפער.
ומבאַפלעקט שטאָל דיפפוסערז קענען וויטסטאַנד העכער אַפּערייטינג פּרעשערז און האַלטן פּראָדוקט אָרנטלעכקייַט - די לאָנגעסט לעבן אין די אינדוסטריע.און, פֿאַר קעראָוזשאַן קעגנשטעל וואָס איז העכער ווי ניקאַל, נוצן HENGKO הויך ריינקייַט דיפפוסערס.
אַפּפּליקאַטיאָנס
HENGKO פּאָראָוס מעטאַל דיפיוזערז זענען געניצט אין ויסגאַנג אַפּלאַקיישאַנז אויף מאַסע שלאָס טשיימבערז, אַריבערפירן טשיימבערז, קאָאָלינג טשיימבערז און פּראָצעס טשיימבערז פון סעמיקאַנדאַקטער ויסריכט ינטערפייסיז (CVD, PVD, Etch, Epi) אָדער אנדערע וואַקוום טשיימבערז
קענען ניט געפֿינען אַ פּראָדוקט וואָס טרעפן דיין באדערפענישן?קאָנטאַקט אונדזער סאַלעס שטעקן פֿאַראָעם / אָדם קוסטאָמיזאַטיאָן באַדינונגס!
